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（c）具有扭结Si-NWFETs（直径80nm），下半选金属互连（Cr/Pd/Cr）和SU-8封装（1μm）的网状生物活性支架的SEM图像。图三、度精用于长期稳定的主动电子神经界面的材料和工程方法（a）左：在聚酰亚胺(PI)上通过一层t-SiO2到Si-NM晶体管的电容耦合传感机制。